山西烁科碳化硅单晶项目开建

中化新网讯 日前，山西烁科晶体有限公司年产100万毫米碳化硅单晶项目在山西转型综改示范区正式开工建设。该项目是山西省在第三代半导体产业领域的重要突破，将推动区域经济高质量发展。

此次启动的碳化硅单晶项目总投资约17亿元，投产后将新增100万毫米碳化硅单晶和30万片碳化硅衬底的产能，并快速实现8英寸碳化硅衬底的产业化和12英寸碳化硅衬底的工程化应用。据了解，该项目是2024年全国碳化硅衬底领域唯一一个通过国家发展改革委、工业和信息化部“窗口指导”批复的大项目，标志着山西在第三代半导体材料赛道上继续领跑。

山西烁科晶体有限公司自2019年落户山西转型综改示范区以来，已先后突破“大尺寸低应力籽晶”“超高温化学气相沉积”等关键工艺，累计申请专利180余项，牵头制定行业标准4项，公司4—8英寸碳化硅衬底总产能跃居全球前三。去年12月，该公司在全球首发12英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底，围绕碳化硅基底刻蚀制备衍射光波导镜片的核心技术攻关，推动碳化硅刻蚀衍射光波导产品的研发与量产，有望令碳化硅AR眼镜在轻量化、高清显示与成本控制等多方面实现提升。