安捷伦发布吸气剂复合型离子泵

  中化新网讯 近日,安捷伦公司发布CombiNEG吸气剂复合型离子泵。该泵可以以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气等惰性气体,大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力,为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。

  CombiNEG系列采用安捷伦科技的StarCell离子泵抽气单元和赛斯的烧结型非蒸散型吸气剂。该系列最大可复合2000L/s的吸气剂泵,其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气,可靠性高,所需电流极小,对环境磁场的影响也很小,并且无油无振动,适合粒子加速器、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。


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2009-10-15     ccin.com.cn