黎明院拟投资建设含氟电子气体项目

  近日,昊华化工科技集团股份有限公司发布公告称,其全资子公司黎明化工研究设计院有限责任公司拟投资建设4600吨/年特种含氟电子气体项目。该项目投资不属于关联交易和重大资产重组事项。

  据悉,该项目采用黎明院自主研发专利技术生产特种含氟气体,总产能4600吨/年,包括3000吨/年三氟化氮、1000吨/年四氟化碳和600吨/年六氟化钨。项目总投资约9.14亿元,位于河南省洛阳市吉利区科技园(省级)内黎明院氟化物公司西侧,占地面积约16.08万平方米,建设周期预计为获批后的18个月。

  据了解,电子气体是半导体生产过程中的重要原料之一,在半导体领域应用广泛。近年来,随着下游半导体、电子器件等市场的快速发展,我国电子气体市场规模不断增大。经过近几年系列特种含氟电子气体的开发与推广,黎明院已成为国内知名的特种含氟电子气体的供应商之一。为了进一步完善特种含氟电子气体产业链,满足国内市场需求,黎明院计划新建4600吨/年特种电子气体项目。


中国化工报社

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