未来5年复合增长率约6％ 权威解读电子特种气体行业发展机会

　　电子特种气体市场

　　电子气体占半导体生产商在化学品和材料上花费的最大比例。总而言之，2018年全球电子气体的支出几乎达到60亿美元。关键气体严重短缺的最新问题极大地影响了整个行业，在某些情况下，也限制了产量。电子气体中的电子特种气体(ESG)市场虽然是全球工业气体市场的一小部分，但却是电子化学品和材料领域中最复杂，最不易了解的细分市场之一。Linx Consulting估计，2018年ESG市场约为34亿美元，高于2017年的约31亿美元。总体而言，由于潜在的需求量增长和高价值产品的使用增加，ESG的增长率在2018年增长了10%。在诸如蚀刻和特定的沉积工艺的应用中。

　　ESG的关键区别不仅在于所提供的气体和混合气体的技术复杂性，还在于对气体供应的纯度和质量一致性的要求。通常在分析能力极限下的产品纯度和一致性必须与制造中的统计过程控制和绝对严格的交付可靠性要求同时达成。ESG包括碳氟化合物，碳氢化合物，沉积前趋体，掺杂剂，腐蚀剂(卤化物/水合物)和稀有气体混合物。

　　ESG的关键最终用途市场包括半导体晶圆制造，平板显示器(FPD)制造，化合物半导体/ LED生产和光伏电池制造，如下图1所示。

图1 电子特种气体的终端应用市场　

Source: Linx Consulting

　　半导体行业是ESG的最大用户，在产品，包装容量和纯度要求方面具有最多样化的要求。半导体工业使用所有不同种类的特种气体。纯度通常为4N及以上，包装的范围可从小钢瓶到T/ Y钢瓶包装到钢管拖车。主要需求市场遍布全球，包括中国，欧洲，日本，韩国，东南亚和美国。

　　平板显示器(FPD)是ESG的第二大用户群。然而，FPD工厂中使用的ESG产品的品种广度比半导体工业小。主要产品应用包括硅源，掺杂剂，氧化和氮化源，腔室清洁和蚀刻剂。随着FPD行业在TFT-LCD细分市场和AMOLED细分市场的蓬勃发展，ESG的使用已经快速增长，并且在韩国，中国和日本有许多大型终端用户。韩国和中国拥有大型ESG供应基础设施，旨在为FPD行业提供服务。早期，这些国家的目标是FPD行业和其相关价值链的发展，因此大规模开发了所需的ESG产品，如NF3和硅前体气体。当我们总体上审视市场时，加上亚洲电子行业的地理分布密度，绝大多数ESG市场都将出现在亚洲区域，这一点就不足为奇了，如下图2所示。

图2电子特种气体市场的区域分布　

Source: Linx Consulting

　　主要应用

　　ESG的应用可以很容易地与微电子行业中常用的主要薄膜制造工艺相关联。该工艺包括电介质和金属蚀刻，电介质沉积，诸如钛或钨的金属沉积，诸如硬掩模等的非硅材料的沉积，用于热扩散和离子注入的掺杂剂，反应室清洁; 以及一些其他专业应用程序。这在下面的图3中说明。

图3 电子特种气体的主要应用

Source: Linx Consulting

　　显然，ESG与薄膜沉积(CVD和腔室清洁)和蚀刻处理紧密相关。未来，该行业将通过新型沉积和蚀刻工艺增加ESG的使用。新的应用可包括：低温沉积，高沉积速率工艺，用于高纵横比结构的可流动CVD膜，以及具有更高均匀性的高选择性深蚀刻。所有这些过程都会提高器件性能，新要求将依赖于ESG和稀有气体来实现这些要求。

　　电子特种气体未来的展望

　　总体而言，我们认为ESG市场将在未来五年内以约6%的复合增长率成长。目前最大的六家全球型供应商--Versum Materials，SK Materials，MTG / TNS， Air Liquide， Linde / Praxair和KDK控制着整体市场的一半份额左右。大约有50家供应商占据了市场的另一半。我们预计，随着行业的持续增长，我们将继续看到供应商基础的变化，包括持续整合和新兴的区域型供应商，以其独特的技术和增值能力进入市场。