奋斗19年 华特气体斩获阿斯麦认证的创新进化论

电子特种气体是真正意义上的高精尖产品，在芯片制造中必不可少，想要做到进口替代，必须具备国际一流品质。过去，这一市场几乎被国际厂商垄断。但就是凭着十几年的坚持，华特气体已经实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率。尤其值得一提的是，华特气体通过了全球最大光刻机生产商荷兰阿斯麦（ASML）公司的认证，成为中国国内唯一通过认证的气体公司。

2002年，华特气体确定了以特种气体为发展方向，时至今日，华特气体的特种气体主要用于半导体芯片行业，目前已实现对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率。与国内大部分替代性产品主打性价比不同，华特气体的产品在品质上与国际竞品完全一致，达到国际一流水准。例如，华特气体的产品已能为台积电批量供应5纳米工艺，而国内（其他企业）最先进的产品仅能供应14纳米工艺。傅铸红说，经历前期严格的认证并通过后，一旦进入供应链体系并开始批量供应后，华特气体与客户的合作关系也就趋向稳定，“我们现在的竞争对手基本都是国外企业。”

奋斗19年获阿斯麦认证

光刻是芯片制造最关键的工艺之一，光刻需要由光刻机来完成，而全球最顶级的光刻机公司就是荷兰的阿斯麦。“光刻机里有一个激光腔，激光腔体内要通入稀有的混合气体，利用稀有气体电离激发出一种特定波长和能量的激光。”傅铸红说，“光刻机再使用激光，去除芯片表面的光刻胶涂层，在芯片表面形成线宽为纳米级的特定的电路图案。”因此，这个工序是决定芯片工艺精度的最重要的工序。光刻混合气是非常复杂且高精度的产品，一般一种光刻气中会含有4-5种组分气体。“用激光来加工芯片表面，需要让激光波长和能量长时间保持稳定，如果气体纯度不够或配比不精准，就会导致激光能量时高时低或不持续。”他解释，“这必然影响光刻效果。”2017年，华特气体的光刻混合气通过阿斯麦认证，在这个认证名单中，全球仅有四家企业，华特气体是中国唯一一家。这个认证对华特气体意义巨大。“进入阿斯麦的认证，意味着阿斯麦强烈建议它的光刻机用户，在使用阿斯麦光刻机时，要配套使用这四家企业的光刻气。否则，若用户发现光刻效果不好，阿斯麦不承担责任。”傅铸红介绍。

从研发光刻混合气，到获得全球顶级光刻机企业的认证，华特气体用了19年时间。“我们从1998年就开始研发这款气体，过程非常艰难。”傅铸红回忆光刻混合气的研发历程说。特别是有些组分气体含量非常少，只有几克甚至零点几克，要将它们精准的混合在一起，还要保证气体在运输和储存过程中没有任何变化，这对气体企业的技术要求非常高。当年，在几乎没有任何专利文献可以参考的情况下，华特气体的研发团队就是凭着毅力，不停试错和摸索，在积累了几千组实验数据后，最终研制成功。但很快华特气体又迎来第二个挑战：如何让阿斯麦相信华特气体？作为一家民营气体企业，华特气体在国际竞争对手面前，体量并不大。2019年，华特气体营业收入为8.44亿元人民币。而法液空、林德等国际巨头气体企业，营收都在千亿人民币以上。傅铸红回忆，正因如此，阿斯麦在最初的接洽中甚至不愿意测试华特气体生产的光刻混合气，“但我们不断地和他们沟通，通过展示生产过程、品控手段、精准检测的技术等，前后用了近一年的时间，让阿斯麦相信了我们的专业能力，最终测试并通过了认证。”

抓住危机下的机遇、未来将开展海外并购

近几年，华特气体保持着每年研发推出2-3种新气体的节奏。现在在研气体项目13种，其中8寸片气体10种、12寸片气体3种，主要涉及光刻、蚀刻、清洗、沉积等环节，基本都用于进口替代。其中，某氢化物合成研发项目是为了填补全球技术空白。凭借过硬的产品，华特气体的特种气体已进入了英特尔、美光科技、德州仪器、海力士等全球领先的半导体企业供应链体系，成为一把不容忽视的中国力量。但是，对标法液空、林德等国际巨头，华特气体要成为推动中国半导体行业高端化发展的“尖刀部队”，还有较长的路要走。这主要体现在产业链纵深程度和产品线的广度上。傅铸红表示，一方面，特种气体对上游原材料品质要求较高，纵向一体化发展有利于华特气体加强对上游的把控。另一方面，是特种气体品种繁多，通过横向并购成熟的、优秀的细分产品领域企业，能够快速补充华特气体的产品线，将公司做大做强。

2019年，华特气体成功登陆科创板，这给华特气体开展横纵向拓展带来了资本利好。特别是本次疫情引发了经济周期的下行，也给华特的扩张带来了不小的机会，傅铸红表示：“我们会认真研究那些能给华特带来较强协同效应、对主业有所帮助的标的，适时开展并购或投资。”“未来，我们计划还要开展海外的兼并和收购，”他展望，“目前，我们的气体已出口海外50多个国家和地区，销售占比20%左右，但这些都是通过当地的气体公司进行分销。我们希望通过海外兼并和收购，以直接设点的方式去服务我们的海外终端用户。”

用全球视野抢占行业制高点

自2002年确立以特种气体为发展方向以来，华特气体的成长路径一直践行着“全球化的视角下，抢占行业制高点”。特种气体，尤其是应用于半导体行业的电子特种气体的国产化，没有国际一流的品质，就进入不了半导体行业的供应链。作为“后起之秀”，华特气体之所以能够在这一巨头垄断的高端细分市场中撕开一道口子，就是因为十多年来，华特一直瞄准国际一流产品，坚持研发高端特种气体，继而实现进口替代。未来华特气体还会继续以特种气体为发展方向，瞄准大尺寸、小线宽这些半导体先进制程，不断的研制并推出一批技术难度高、市场容量大的产品，这也是华特作为半导体产业链企业应承担起的责任。