我国光刻胶领域研究取得新突破

光刻技术是推动集成电路芯片制程工艺持续微缩的核心驱动力之一。近日，北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描技术，首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为，指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案。相关论文近日刊发于《自然·通讯》。

“显影”是光刻的核心步骤之一，通过显影液溶解光刻胶的曝光区域，将电路图案精确转移到硅片上。光刻胶如同刻画电路的颜料，它在显影液中的运动，直接决定电路画得准不准、好不好，进而影响芯片良率。长期以来，光刻胶在显影液中的微观行为是“黑匣子”，工业界的工艺优化只能靠反复试错，这成为制约7纳米及以下先进制程良率提升的关键瓶颈之一。

为破解难题，研究团队首次将冷冻电子断层扫描技术引入半导体领域。研究人员最终合成出一张分辨率优于5纳米的微观三维“全景照片”，一举克服了传统技术无法原位、三维、高分辨率观测的三大痛点。

彭海琳表示，冷冻电子断层扫描技术为在原子/分子尺度上解析各类液相界面反应提供了强大工具。深入掌握液体中聚合物的结构与微观行为，可推动先进制程中光刻、蚀刻和湿法清洗等关键工艺的缺陷控制与良率提升。

　　电子化学品产业是科技创新和国际竞争最为激烈的材料领域之一。我国作为全球最大的电子产品制造国，电子化学品市场规模具有千亿级，但高端产品自给严重不足，关键材料仍高度依赖进口。

　　为推动以湿电子化学品为核心的电子化学品制造水平提升和应用领域拓展，搭建产学研用深度融合的高质量合作平台，《中国化工报》社有限公司拟定于2025年11月20—22日在四川省富顺县举办“2025年湿电子化学品及电子气体高端发展会议”。

　　现将会议相关事项通知如下：

　　一、会议组织

　　主办单位：《中国化工报》社有限公司 富顺县人民政府

　　协办单位：中国化工学会电子化学品专委会　精化快车

　　承办单位：中国化工报传媒中心　四川富顺晨光经济开发区　富顺县投资促进局

　　二、会议主题

　　融合创新“材”赢未来

　　三、会议时间地点

　　会议时间：

　　2025年11月20日下午，报到。

　　2025年11月21日全天，会议。

　　2025年11月22日上午，参观交流。

　　会议地点：

　　四川省富顺县瑞祥大酒店

　　四、会议议程(拟)

　　11月21日上午：2025 年湿电子化学品及电子气体会议

　　主要议程：

　　(一)领导致辞

　　(二)主旨报告：

　　(1)电子信息化学品的工程创新

　　(2)技术创新推动我国电子特气行业迈向自立自强

　　(3)我国集成电路用电子化学品发展现状与趋势

　　(4)国内湿电子化学品行业发展现状及重点发展方向

　　(5)AI时代芯片技术新突破及对湿电子化学品市场的产品需求分析

　　(6)面板行业对湿电子化学品及电子气体的新要求

　　(7)半导体工艺技术发展趋势

　　(8)电子化学品的精密纯化技术进展

　　(9)光敏产品研发-生产一体化研究进展

　　11月21日下午：平行会议一

　　湿电子化学品制造体系的挑战与机遇

　　主要议程：

　　(1)显示用电子化学品现状及发展趋势

　　(2)半导体材料的突围之路

　　(3)湿电子化学品如何走向国际市场

　　(4)湿电子化学品的混配及分析检验技术

　　(5)含氟新材料在电子电器领域的应用

　　(6)富顺县电子化学品产业链布局及未来发展情况介绍

　　(7)光学与半导体融合的下一代电子材料技术

　　(8)如何借助科学检测分析方法提高产品质量

　　(9)功能湿电子化学品产品提升的实践

　　(10)显影液市场分析与挑战

　　11月21日下午：平行会议二

　　电子气体技术及相关配套产业进展与市场趋势

　　主要议程：

　　(1)电子特气如何破局

　　(2)先进电子封装材料产业化实践

　　(3)低碳烃吸附分离与纯化

　　(4)集成电路制造高纯电子气体产业化研究

　　(5)电子产业园一体化工业气体岛

　　(6)新型蚀刻气体的研发和创新

　　(7)显示与集成电路用聚酰亚胺材料

　　(8)晶圆制造技术探索

　　11月22日上午：实地参观交流

　　参观中昊晨光化工研究院、四川富顺晨光经开区化工园区、富顺文化产业等。

　　五、企业展示

　　会议期间将对产业链上下游企业最新技术、特色产品等进行展示，大会配套提供展台。

　　六、参会人员

　　行业专家、电子化学品生产企业及产业链上下游企业、电子气体生产企业、封装企业、晶圆企业等行业代表。

　　七、会议费用

　　1.会议费2000元/人，配套企业3000元/人(含餐饮费、资料费、场地费等)，交通费自理。

　　2.住宿统一安排，费用自理。

　　汇款信息：

　　单位名称：《中国化工报》社有限公司

　　开户行：工行北京分行六铺炕支行

　　账号：0200022309004600937

　　八、联系方式

　　方老师：16619701730(微信同号)

　　张老师：15346037655(微信同号)

　　邮箱：511627414@qq.com

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