高纯含氟电子气体国产化成功

　　助力我国极大规模集成电路行业

　　中化新网讯 极大规模集成电路行业所需的高纯度气体有了新着落。“我们承担的国家科技重大专项‘极大规模集成电路制造装备与成套工艺’中的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目，通过了国家重大专项项目组的现场测试与评审。相关产品已提交客户使用，市场应用效果良好。”6月11日，黎明化工研究设计院有限责任公司首席技术官牛学坤表示。

　　经过现场测试和专家评审，专家组认为，黎明院生产的高纯四氟化碳和六氟化硫产品满足国家重大专项/课题任务书研究内容和考核指标规定的技术要求。“项目的验收完成，标志着黎明院开发的高纯度含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫产品，能够满足极大规模集成电路行业所需的高纯度气体需求，也标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。” 国家重大专项项目组专项办公室责任专家马振宇教授表示。

　　牛学坤介绍说，高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体是极大规模集成电路行业必须的清洗、蚀刻气体。随着极大规模集成电路技术的提升，芯片制程向14纳米甚至7纳米的迈进，其对电子气体的纯度要求越来越高。为此，黎明院借助国家科技重大专项平台，突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术，攻克了高纯度四氟化碳和六氟化硫制备过程中微量杂质的纯化、分析等技术难题，制备出5.8N四氟化碳和5.5N六氟化硫，部分杂质含量在0.1ppm以内。在研发过程中，黎明院共申报专利9项，发表研究论文6篇，编制国标1项、企标2项，并建成了标准化洁净间。

　　“项目的研发成功，实现了含氟气体由工业级向高纯级、多品种等高性能、高附加值产品的转型升级以及氟化物产品的结构调整，助推了黎明院高质量发展。”牛学坤表示。

　　据了解，2015年，黎明院高纯六氟化硫已实现了1000吨/年生产供货能力;2018年，电子级四氟化碳产品建成了中试装置，并规划建设1000吨/年工业化装置。

　　“高纯度四氟化碳和六氟化硫已在国内集成电路企业批量使用，实现了部分进口替代。下一步，黎明院将进一步加快科技创新及产业化发展步伐，开发极大规模集成电路行业所必须的其他电子特气，为国内极大规模集成电路行业的稳定、健康发展提供坚实的基础。” 牛学坤说。

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