石墨烯层数检测国际技术规范发布

中化新网讯 近日，由东南大学牵头并联合多家单位制定的国际技术规范IEC TS 62607-6-24:2026《纳米制造 关键控制特性 第6-24部分：石墨烯相关产品 石墨烯层数：光学对比度法》由国际电工委员会纳米电工产品与系统技术委员会（IEC/TC 113）正式发布。该技术规范建立了化学气相沉积（CVD）石墨烯薄膜层数分布的标准化检测方法，为材料的质量评价、产品检测与产业化应用提供了统一的技术依据。

石墨烯在电子器件、光电子、传感和储能等领域应用前景广阔。大面积CVD石墨烯薄膜常含双层或少层畴区，其层数分布影响材料性能。因此，准确、快速地表征石墨烯薄膜的层数及其面积分布，是开展材料质量评价和工艺控制的重要基础。但现有透射电子显微镜、拉曼光谱和原子力显微镜等方法难以兼顾大面积与高通量检测，存在检测通量较低、表征区域有限，以及难以对大面积薄膜进行层数分布统计等问题。

对此，项目组基于光学对比度测量原理，建立了一套简便、高通量、非破坏性的CVD石墨烯薄膜层数分布测试方法。该方法通过分析显微图像并结合预先建立的“光学对比度—石墨烯层数”标定关系，可定量获得薄膜中单层、双层及少层石墨烯畴区的面积占比，从而实现对大面积CVD石墨烯薄膜层数分布的快速、定量表征。

该规范适用于转移至二氧化硅/硅衬底上的洁净CVD石墨烯薄膜。该规范系统规定了表征设备、样品制备、白平衡校准、图像采集、数据处理等全流程技术要求。为提升方法的可操作性和实验室间测试结果的一致性，该规范还设置规范性附录，分别给出了标准样品标定、单层CVD石墨烯层数分布测试，以及含多层畴区CVD石墨烯薄膜测试的完整操作案例。

业内人士指出，该规范的发布填补了大面积CVD石墨烯薄膜层数分布高通量定量检测领域国际标准化技术文件的空白，将为石墨烯材料研发、生产过程控制、产品质量检验及国际贸易提供技术支撑。