磷肥副产氟硅酸生产超纯电子级氢氟酸关键技术及装备通过鉴定

中化新网讯 4月23日，多氟多“磷肥副产氟硅酸生产超纯电子级氢氟酸关键技术及装备”项目，通过由中国石油和化学工业联合会组织的科技成果鉴定。鉴定委员会认为，该技术整体达到国际先进水平，氟硅酸制工业无水氟化氢联产高品质白炭黑技术部分达到国际领先水平。

超纯电子级氢氟酸作为芯片制造行业不可替代的关键电子化学品，其关键技术和核心装备被德日等少数化工企业掌握并长期垄断，严重制约着我国芯片产业的健康可持续发展，是亟待攻克的“卡脖子”技术。

面对国家重大战略需求，多氟多经过持续攻关，自主开发了以磷肥副产氟硅酸为原料生产工业无水氟化氢的氟硅酸—氨解—热解循环耦合工艺，构建氨、氟化钠的闭路循环体系；开发了氟气预氧化砷—反应精馏—多级膜过滤纯化生产超纯电子级氢氟酸工艺体系，从工艺、装备、环境、质量控制等方面突破了痕量杂质脱除关键技术；建成了首套磷肥副产氟硅酸生产万吨级超纯电子级氢氟酸联产高品质白炭黑生产装置。

据悉，超纯电子级氢氟酸产品经第三方单位检测，优于SEMI G5级标准。已经成功应用于国内外高端芯片制造企业，进入了韩国三星和LG供应体系，成为台积电在中国大陆唯一的电子级氢氟酸合格供应商，成功实现进口替代，有力支撑了我国电子材料和芯片行业的发展。

项目获得授权专利23项，制定了《工业无水氟化氢》《工业高纯氢氟酸》等6项国家与行业标准，承担了国家产业振兴和技术改造项目、国家绿色低碳技术攻关项目、国家产业基础再造工程等重点专项6项，成为无机氟新材料领域的典范。

此外，鉴定委员会对项目技术路线、创新点、技术指标等方面给出建议与意见，为下一步高质量申报科学技术奖打下基础。

多氟多董事长李世江表示，多年来，多氟多围绕国家战略发展方向，瞄准“卡脖子”难题，先后承担了23个国家级项目，下一步，将在低品位资源高值高效利用和打造循环产业链方面给国家当好试点，闯出一条绿色可持续发展的“新路子”，助力民族工业高质量发展。