专家建言：加快推进微痕量气体分析技术发展

电子特气等行业对气体分析技术提出更高要求

　　中化新网讯 1月18日，由北京市华宇博泰科技发展有限公司主办的气体微痕量技术研讨及新产品发布会在北京举行。与会专家表示，分析检测仪器是电子气体质量控制的“眼睛”，在电子气体产品开发、生产和质量控制方面发挥了重要作用。电子工业的快速发展对电子特气微痕量分析技术提出了更高要求，需要更先进的分析技术和仪器的支撑。

　　中国工业气体工业协会理事长马银川表示，电子特气作为电子工业重要的原材料之一，主要应用于集成电路、液晶面板、太阳能电池、光伏光缆及医疗健康、高端装备制造等新兴行业。电子特气在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，几乎渗透到集成电路的各个生产环节，对集成电路的性能集成度和成品率都有重要影响。高品质的质量管控对电子特气微痕量分析提出了更高要求，需要业内共同协作，提供更多的优质气体检测方案。

　　中国电子材料行业协会副主任刘伟鑫表示，集成电路制造用材料是集成电路产业发展的基础，集成电路技术每前进一步都对材料提出新的要求。电子气体是集成电路材料产业链的重要分支，支撑了半导体上游产业的发展。

　　资深特气专家孙福楠指出，当前中国许多电子特种气体实现了真正意义的国产化，产品品质同发达国家的差距正不断缩小，半导体制造厂对国产电子气体的需求变大，“进口取代、降本增效”正在悄然实现。硅基电子特气尤其是硅烷气体(SiH4)是半导体生产所需的重要气体，痕量气体分析技术和仪器对硅基电子特气产品关键性杂质的识别至关重要。

　　中国计量科学研究院胡树国博士指出，目前，高纯气体中痕量气体(如空气组分、烃类、副产物等)检测存在一些难点：分析仪器及设备的灵敏度和分离度不能满足要求、缺少相应的定量标准物质、环境和分析进样条件要求高、对分析检测人员的能力要求高、高纯气体种类多且杂质复杂、仪器设备购置和维护成本高等，亟需检测灵敏度更高、能够适应复杂检测环境、操作更便捷、购置周期短的分析仪器。

　　华宇博泰创始人、总裁黎文宇介绍，该公司自成立以来，致力于打造微痕量气体分析先进技术，把等离子发射检测器(PED)技术及仪器推广应用到半导体集成电路、特种气体、空分、氢能等行业。随着高纯气体产业的迅速发展，用户对气体产品的质量提出了更高要求。该公司研发的PED可用于分析高纯气体中的某些气体标准物质，从而减少痕量气体标准物质的干扰，检测灵敏度更高。

　　南大光电(乌兰察布)有限公司副总经理王新喜介绍了该公司前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料三大核心产业的发展情况和未来规划。在电子特气领域，该公司成功实现了高纯砷烷、磷烷等特种电子气体的研发和产业化难题，一举打破了国外技术封锁和垄断，为我国极大规模集成电路制造提供了核心原材料。

　　“氦气和液氦在科学仪器和装置中具有多方面应用，例如用作气相色谱的载气、氦质谱检漏仪等。但我国氦气资源十分匮乏，天然气或地热水富集地有望成为我国提氦的‘底气’。”北京中科富海低温科技有限公司研发总监徐鹏博士指出。

　　大连华邦化学有限公司钱吉博士强调，半导体生产工艺对气体纯度要求越来越高，必须在终端对气体进行纯化。

　　来自中国工业气体工业协会、气体分析仪器制造厂商、中国石油勘探开发研究院、林德气体等单位的50余位专家和代表参会。