广钢气体超高纯制氮机试运成功

中化新网讯 近日,广钢气体为重点客户量身打造的Super-N 50K超高纯制氮机,历经严苛调试后正式投入试运行并取得成功。

超高纯氮气作为半导体制造过程中的关键辅助气体,其纯度与稳定性直接影响芯片生产的良率与质量,长期以来,高端制氮设备的核心技术多依赖进口。广钢气体此次试运行的Super-N 50K超高纯制氮机,凭借自主研发的核心工艺,实现了更高纯度氮气的稳定制备,为我国半导体产业链供应链自主可控提供了坚实支撑。 


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